GRISH納米二氧化硅拋光液(CMP)
堿性型號(pH:9.8±0.5) |
SOQ-2A |
SOQ-4A |
SOQ-6A |
SOQ-8A |
SOQ-10A |
SOQ-12D |
酸性型號(pH:2.8±0.5) |
ASOQ-2A |
ASOQ-4A |
ASOQ-6A |
ASOQ-8A |
ASOQ-10A |
ASOQ-12D |
粒徑(nm) |
10~30 |
30~50 |
50~70 |
70~90 |
90~110 |
110~130 |
外觀 |
乳白色或半透明液體 |
|||||
比重 |
1.15±0.05 |
|||||
組成 |
成份 |
含量(w%) |
||||
SiO2 |
15~30 |
|||||
Na2O |
≤0.3 |
|||||
重金屬雜質 |
≤50 ppb |
成份
|
含量(w%)
|
SiO2
|
15~30
|
Na2O
|
≤0.3
|
重金屬雜質
|
≤50 ppb
|
拋光壓力
|
150~250 g/cm2
|
拋光溫度
|
32~40 ℃
|
稀 釋 率
|
<1:1~20
|
拋光時間
|
3~6 min
|
LED行業 | 光學晶體 | 光通信 | 電子行業 |
購買價:0.00元
購買價:0.00元
購買價:0.00元
購買價:0.00元
購買價:0.00元